ANOTACE

Tématem práce je in-situ měření a vyhodnocování elektrických vlastností tenkých nanostruktukturovaných vrstev. Tyto vrstvy nalézají uplatnění v mnoha oborech. Jedním z nich je oblast chemických senzorů. Vrstvy jsou připravovány pomocí PVD technik (naprašování, napařování). Práce je zaměřena především na měření vodivosti a V-A charakteristik. Kovy mají obecně tendenci k ostrůvkovému typu růstu vrstvy, což se projevuje nelinearitami daných závislostí. Pomocí těchto měření je možné určit, kdy je vrstva ještě nespojitá a kdy se již slila dohromady – tzv. perkolační práh, na základě toho je možné přesně řídit depoziční proces.