CZ | EN
UCT Prague logo
UCT Repository Prague MASTER THESIS

Optimalizace depozice grafenových vrstev na kovových substrátech a jejich přenos

Optimization of graphene layers deposition on metallic substrates and its transfer

Circular user icon
Ing. Jan Luxa, Ph.D.
UCT Repository Prague MASTER THESIS

Optimalizace depozice grafenových vrstev na kovových substrátech a jejich přenos

Optimization of graphene layers deposition on metallic substrates and its transfer

Circular user icon
Ing. Jan Luxa, Ph.D.

ANOTACE

Tato práce se zabývá depozicí grafenových vrstev na kovových substrátech pomocí technologie CVD. Jakožto substráty sloužily měděné folie a porézní niklové pěny. Byla sledována závislost strukturní kvality v závislosti na složení reagujících plynných prekurzorů. Dále byl zkoumán vliv povrchové morfologie použitých substrátu na depoziční proces. Po depozici byly grafenové vrstvy přenášeny na nevodivé Si/SiO2substráty za pomocí dvou metod. Dále byl zkoumán vliv přítomnosti čpavku v plynných prekurzorech na možnosti dopace dusíkem. Z hlediska strukturní kvality byla použita metoda Ramanovy spektroskopie. Povrchová morfologie substrátů i vrstev po depozici byla provedena pomocí mikroskopie atomárních sil a skenovací elektronové mikroskopie. Pro měření rezistivity posloužila čtyřbodová metoda Van der Pauw. P…

ANNOTATION

This thesis concerns deposition of graphene layers on metallic substrates using CVD technology. Copper foils and porous nickel foams were used as substrates. Dependence of structural quality on composition of reacting gaseous precursors was observed. Substrate morphology dependence of deposition process was also investigated. After the deposition graphene layers were transferred onto insulating Si/SiO2substrates using two methods. Possibility of doping using ammonia was investigated. Structural quality was examined by Raman spectroscopy. Surface morphology of the substrates as well as graphene layers was achieved by Atomic Force Microscopy and Scanning Electron Microscopy. Van der Pauw method was used for resistivity measurements. Presence of potential dopants and/or impurities was verified using X-ray…

Advisor
prof. Ing. Zdeněk Sofer, Ph.D.
Ing. Petr Šimek
Referee
doc. Ing. Petr Macháč, CSc.
Thesis type
Master thesis
Institution
University of Chemistry and Technology, Prague
Faculty
Faculty of Chemical Technology
Department
Department of Inorganic Chemistry
Study programme
Inorganic Chemistry
Specialization / field
Inorganic, Organic and Macromolecular Chemistry
MŠMT code
1401T002
Language
Czech
Resource accessibility
The printed version of the thesis is available at the department where the thesis was produced. Defence protocol and reviews are available at UCT Prague archive.
Access rights
open access
SIS ID
17907
Date available
Jul 4, 2014
Date modified
Jul 4, 2014
Date defended
Jun 3, 2014DEFENDED