CZ | EN

Příprava polymerních vlnovodů s optickou mřížkou pro senzorové struktury tlaku a teploty

Preparation of polymeric optical waveguides with grating sensors for pressure and temperature

Příprava polymerních vlnovodů s optickou mřížkou pro senzorové struktury tlaku a teploty

Preparation of polymeric optical waveguides with grating sensors for pressure and temperature

ANOTACE

Náplní práce bylo vytvoření polymerních kanálkových vlnovodů na SiO2/Si podložce a optimalizace optické vstupní vazby. Následně byla na struktuře vlnovodů vytvořena mřížka. Celá struktura tvoří optický teplotní či tlakový senzor s Braggovou mřížkou. Vlnovodné a krycí vrstvy byly deponovány pomocí spin-coating metody. Vlnovody byly vytvořeny optickou litografií a mřížka pomocí konfokálního mikroskopu nebo excimerového laseru. Pro optimalizaci optické vazby byla použita metoda čelní vazby. Kvalita připravených vlnovodů byla určována pomocí TV modu konfokálního mikroskopu. Pro zlepšení kvality hrany vlnovodů, a tím vylepšení vstupní vazby, byly na vzorky naneseny polymerní čočky nebo byl substrát před lomem vyleštěn na požadovanou tloušťku. Oba postupy byly porovnány. Hotovým optimalizovaným st

ANNOTATION

The main objective of this work was preparation of polymeric channel waveguides on SiO2/Si substrates and optimization of an optical input. Bragg grating was prepared on waveguides´ structure in second step. Prepared structure represents an optical sensor of temperature or pressure. Waveguide and cover layers were deposited using spin-coating method. Waveguides were prepared by optical lithography and a grating was created by confocal microscopy or excimer laser. Method of insertion loss was used for optimization of optical bond. TV mode of confocal microscope was used to determine the quality of prepared waveguides. For optimization of optical input polymeric lens were deposited on the edge of prepared waveguides. Additionally, substrate was polished to required thickness before a breakage.